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发布时间：2020-06-16 11:44:44
洁净工程中的温湿度操纵，清洁室内空间的温湿度主要是依据工艺规定来明确，但在考虑工艺规定的标准下，应充分考虑
人的舒适感感。伴随着气体洁净度等级规定的提升，出現了工艺对温湿度的规定也愈来愈严的发展趋势。实际工艺对温度的规定之后也要例举，但做为总的标准看，因为加工精度愈来愈细致，因此对温度起伏范畴的规定愈来愈小。比如在规模性集成电路芯片生产制造的光刻曝出工艺中，做为掩膜板原材料的夹层玻璃与硅单晶的线膨胀系数的差规定愈来愈小。 
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